弹片式力控摆臂旋转调节结构及固晶机
摘要:
本发明适用于固晶设备技术领域,提供了一种弹片式力控摆臂旋转调节结构,包括旋转座、摆臂组件、驱动单元以及弹性结构。摆臂组件的中间部通过弹性结构连接于旋转座上,可以通过驱动单元驱动摆臂组件的动力端往复运动。弹性结构可以发生弹性变形,并且还会对摆臂组件的中间部进行位置限定,使摆臂组件可以以弹性结构为支撑绕第二轴线摆动,进而使摆臂组件的固晶端也可以往复运动,同时摆臂组件的整体还可以随着旋转座的转动也绕第一轴线运动。与现有技术中的摆臂结构相比,摆臂组件的中间部通过弹性结构连接于旋转座上,将摆臂组件的整体平行移动转换成摆臂组件的摆动,减小了摆臂组件在工作时的运动幅度,也提高了摆臂组件的工作效率。
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