本发明公开了提高外延片平坦度的制备方法和装置，涉及外延片生产技术领域，提高外延片平坦度的制备装置，包括两端为敞口的反应壳体，还包括密封进气法兰，其密封连接于反应壳体一端；密封排气件，其密封连接于反应壳体另一端；进气管，其贯穿密封进气法兰，并一端延伸至反应壳体内；本发明通过喇叭形槽口、密封盖板等之间的相互配合，在初始充气阶段，通过抽气系统对活塞腔进行抽气，使大流量的保护气体从喇叭形槽口流出进入反应壳体内，大流量的保护气体流出，能够避免气体未混合均匀前，气相沉积反应的混合气体过早地沉淀在外延片上，导致外延片厚度不均匀的情况发生。