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摘要:
一种柔性阵列压电传感器,柔性衬底层包括阵列区和与阵列区相邻的引出区,阵列区包含若干传感区和互连区,互连区为曲线且相邻互连区之间具有间隙;下电极的第一电极部和传感区的图形重叠,第一互连线与引出区的部分图形重叠;柔性压电层的压电阵列区与传感区的图形重叠,压电引出区与引出区的部分图形重叠;上电极的第二电极部与传感区的图形重叠,第二互连线与引出区的图形部分重叠;绝缘屏蔽层与传感区的图形重叠;封装层与柔性衬底层的图形重叠。从而,本发明通过保证传感器的阵列区对应的各层均为镂空的,且互连区均为曲线,使得传感器具有可曲面共形的特性,兼顾保证了传感器的透气性。