发明公开
- 专利标题: 一种用于检测硫化氢气体的气敏传感器及其制备方法
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申请号: CN202410880224.X申请日: 2024-07-02
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公开(公告)号: CN118817783A公开(公告)日: 2024-10-22
- 发明人: 许佼 , 叶俊江 , 刘宇航 , 施广海 , 郭镇斌 , 王序进 , 郭登极
- 申请人: 深圳大学
- 申请人地址: 广东省深圳市南山区粤海街道南海大道3688号
- 专利权人: 深圳大学
- 当前专利权人: 深圳大学
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市南山区粤海街道南海大道3688号
- 代理机构: 深圳市君胜知识产权代理事务所
- 代理商 庄敏芳; 周献
- 主分类号: G01N27/12
- IPC分类号: G01N27/12
摘要:
本发明公开了一种用于检测硫化氢气体的气敏传感器及其制备方法。用于检测硫化氢气体的气敏传感器,包括:硅衬底、电极片以及覆盖在所述电极片表面的敏感层,所述敏感层为SnO/SnO2异质结敏感层。所述SnO/SnO2异质结敏感层包括SnO薄膜层和覆盖在所述SnO薄膜层表面用于与硫化氢气体接触的SnO2薄膜层。本发明的气敏传感器采用了SnO/SnO2异质结作为敏感层,这种独特的结构设计不仅提高了传感器对H2S气体的灵敏度,而且拓宽了其检测范围。SnO/SnO2异质结的形成,通过精确控制制备过程中的化学组成和微观结构,实现了对H2S气体的高效吸附和快速反应。现有的气敏传感器往往需要在较高温度下工作以获得较好的灵敏度,而本发明的传感器能够在室温条件下快速响应低至1PPM的H2S气体。