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公开(公告)号：CN118817783A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202410880224.X
申请日：2024-07-02
申请人： 深圳大学
IPC分类号： G01N27/12
摘要： 本发明公开了一种用于检测硫化氢气体的气敏传感器及其制备方法。用于检测硫化氢气体的气敏传感器，包括：硅衬底、电极片以及覆盖在所述电极片表面的敏感层，所述敏感层为SnO/SnO2异质结敏感层。所述SnO/SnO2异质结敏感层包括SnO薄膜层和覆盖在所述SnO薄膜层表面用于与硫化氢气体接触的SnO2薄膜层。本发明的气敏传感器采用了SnO/SnO2异质结作为敏感层，这种独特的结构设计不仅提高了传感器对H2S气体的灵敏度，而且拓宽了其检测范围。SnO/SnO2异质结的形成，通过精确控制制备过程中的化学组成和微观结构，实现了对H2S气体的高效吸附和快速反应。现有的气敏传感器往往需要在较高温度下工作以获得较好的灵敏度，而本发明的传感器能够在室温条件下快速响应低至1PPM的H2S气体。
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公开(公告)号：CN107142476B
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN201710386654.6
申请日：2017-05-26
申请人： 深圳大学
摘要： 本发明揭示了一种自润滑耐磨涂层及其制备方法，该自润滑耐磨涂层由耐磨单元和自润滑单元两种不同的涂层单元组成；耐磨单元与自润滑单元在基材表面间隔设置，且相邻两种涂层单元之间相互耦合；当自润滑耐磨涂层受到外物磨擦时，耐磨单元抵御磨损效应，提高自润滑耐磨涂层的耐磨性，而自润滑单元能够产生自润滑效应，降低自润滑耐磨涂层的摩擦系数。本发明提出的自润滑耐磨涂层及其制备方法，其中的自润滑耐磨涂层的耐磨单元和自润滑单元间隔设置，通过调整自润滑单元的形态和分布可以控制润滑方向和优化涂层润滑性能，而且自润滑效果稳定，避免现有的高能束制备自润滑耐磨涂层时因出现冶金反应影响自润滑耐磨涂层润滑效果的情况。
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公开(公告)号：CN114515666A
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202210053801.9
申请日：2022-01-18
申请人： 深圳大学 , 深圳市银宝山新科技股份有限公司
摘要： 一种基于机器人的涂胶装置和涂胶方法，该涂胶装置包括工作台、机器人、喷头和光刻胶供应组件，机器人具有至少两个方向的自由度；喷头和待涂胶工件的其中一者连接在机器人上，另一者设置于工作台；光刻胶供应组件与喷头连接，机器人根据待涂胶工件的形状在至少一个方向上运动，带动喷头和待涂胶工件相对运动，以使喷头将光刻胶供应组件供应的光刻胶从多个角度或多个位置喷涂到待涂胶工件上。通过设置上述结构，能适用于待涂胶工件具有多个待涂胶面，以及表面为非平面的情况，使得具有复杂多变的结构和形状的待涂胶工件可以进行涂胶，满足复杂结构和外形的工件的涂胶需求。
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公开(公告)号：CN112621715B
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202011422841.3
申请日：2020-12-08
申请人： 深圳市迈步机器人科技有限公司 , 深圳大学
摘要： 本申请提供一种基于语音输入的上肢外骨骼控制方法及控制装置，应用于通过获取由穿戴者上肢以外部位产生的交互信号，进行对上肢外骨骼的控制，方法包括：获取第一交互信号，并依据第一交互信号确定上肢外骨骼的第一工作模式；获取装配有上肢外骨骼的手臂的当前位置，以及用于对上肢外骨骼进行重力补偿的的动态参数，并依据第一工作模式、当前位置、动态参数和用于对上肢外骨骼进行重力补偿的静态参数确定第一期望力矩轨迹；依据第一期望力矩轨迹控制上肢外骨骼执行第一工作模式对应的动作。本申请采用上肢以外部位对上肢外骨骼进行控制，不会对依靠上肢进行的工作造成影响，同时简化了控制复杂程度，便于穿戴者快速上手进行上肢外骨骼的使用。
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公开(公告)号：CN112901737A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202110084690.3
申请日：2021-01-21
申请人： 深圳大学
摘要： 本申请提供了一种丝杆，用于反应堆控制棒驱动机构，该丝杆包括丝杆基体和设置在丝杆基体表面的纳米金刚石薄膜。该丝杆表面的纳米金刚石薄膜耐磨性能好，具有较低的摩擦系数和良好的抗辐照性能，在反应堆的辐照环境下也能够有效地降低丝杆与滚轮之间的摩擦，减小丝杆的结构磨损，延长控制棒驱动机构的使用寿命。本申请还提供了一种反应堆控制棒驱动机构。
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公开(公告)号：CN118957550A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411028931.2
申请日：2024-07-30
申请人： 深圳大学
摘要： 本申请提供了金属氧化物纳米层的制备方法、金属氧化物纳米叠层结构及传感器。金属氧化物纳米层的制备方法包括提供衬底与金属盐基材。将金属盐基材设于衬底的表面，形成设于衬底一侧的金属盐层。采用聚焦离子束对金属盐层进行曝光，使金属盐层转化为金属氧化物纳米层。本申请采用聚焦离子束对金属盐层进行曝光的方式，使金属盐层的离子分解，从而使金属盐层转化为金属氧化物纳米层，该制备方法操作简单、反应条件低、成本低、毒性低、衬底兼容度高。并且，通过控制聚焦离子束，可在指定区域内实现金属氧化物纳米层的制备，即，实现金属氧化物纳米层的图案化，满足多种加工需求。
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公开(公告)号：CN118610294A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410709477.0
申请日：2024-06-03
申请人： 深圳大学
IPC分类号： H01L31/109 , H01L31/18 , C23C14/35 , C23C14/14 , C23C14/08
摘要： 本发明公开了一种氧化镓异质结构及其制备方法、光电传感器。氧化镓异质结构的制备方法，包括：在衬底的表面制备金属层；在所述金属层的表面制备非晶氧化镓薄膜，对所述非晶氧化镓薄膜进行低温退火处理，得到氧化镓异质结构。所述金属锌层一方面可以促进氧化镓结晶，使其在较低退火温度条件下形成α相和β相；另一方面，退火过程中金属锌会氧化形成氧化锌并与氧化镓形成异质结构，进一步提高光电传感器的性能。本发明所提供的制备方法降低了氧化镓结晶的退火温度，简化了传感器的制备工艺，提高了传感器的光电性能。
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公开(公告)号：CN115623858B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202211114024.0
申请日：2022-09-14
申请人： 深圳大学
摘要： 本申请涉及半导体传感器技术领域，并提供了一种霍尔传感器及其制作方法，其制作方法包括：在衬底上制作具有二维电子气的外延材料层，在所述外延材料层远离所述衬底一面制作四个金属电极，四个所述金属电极分别位于凸四边形的四个顶点处；在所述外延材料层远离所述衬底一面且位于四个金属电极之间的位置制作介电绝缘层；在所述介电绝缘层远离衬底的一面且位于四个金属电极所在凸四边形的对角线交点处制作软磁材料层，得到霍尔传感器。本申请提供的霍尔传感器具有良好的灵敏度，能够在外部磁场不变的情况下，输出更高的霍尔电压。
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公开(公告)号：CN117228626A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311141181.5
申请日：2023-09-05
申请人： 深圳大学 , 深圳市银宝山新科技股份有限公司
摘要： 本申请提供了一种图案化氧化锌层的制备方法，该制备方法利用聚焦离子束辐照分解醋酸锌得到图案化氧化锌层，可以满足亚微米级和/或微米级尺寸的图案化氧化锌层的制备需求，且制备方法简单快捷、成本低廉。该制备方法生成的图案化氧化锌层可以用于作为种子层垂直生长氧化锌纳米棒阵列，该法制得的氧化锌纳米棒阵列的生长密度不受制约，且无需退火，适合在柔性衬底上应用。本申请还提供了该制备方法制得的图案化氧化锌层作为掩模板，采用电感耦合等离子体刻蚀法制备光栅结构的应用。
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公开(公告)号：CN115229214A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202210829388.0
申请日：2022-07-15
申请人： 深圳大学
摘要： 一种增材制造及再制造环境温度调整装置和方法，该装置包括：第一容器形成有第一腔室，用于盛放第一液体；第二容器形成有第二腔室；第一连通管道连通第一腔室与第二腔室；第三容器形成有第三腔室，第三容器位于第二容器沿竖直方向背向地面的一侧，用于盛放第二液体，第二液体的沸点低于第一液体在常温下的温度；调温管道设置在第二容器和第三容器外，并连通第二腔室和第三腔室；第二连通管道连通第二腔室和第三腔室；换热管道至少部分容置于第二腔室，用于输送惰性气体，惰性气体用于填充在增材制造及再制造环境中。本申请的装置结构简单，对应的操作方法也简单，且能提供稳定的温度环境，控制简单，且可靠性好，不易产生降温失效的情况。
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