发光二极管及其制备方法
摘要:
本公开实施例提供了一种发光二极管及其制备方法,属于半导体技术领域。该制备方法包括:获取初始外延片在目标温度下的目标翘曲度,初始外延片包括衬底和初始外延层;根据目标翘曲度,确定目标托盘,目标托盘包括用于放置初始外延片的凹槽,凹槽的底面为圆弧形凸起面,且圆弧形凸起面的翘曲度等于目标翘曲度;将初始外延片放置在目标托盘的凹槽内,并在目标温度下在初始外延层上形成剩余外延层,以在衬底上形成外延层,衬底和圆弧形凸起面接触。本公开实施例能提高LED的发光波长的均匀性。
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