一种电流体喷印沉积成膜厚度控制方法及装置
摘要:
本发明提供一种电流体喷印沉积成膜厚度控制方法及装置,属于增材精密制造技术领域。该控制方法通过以下步骤实现:规划和匹配目标膜厚所需的目标喷印流量和目标喷印线宽,将喷射模式调节成稳定锥射流模式,喷印头扫掠过一定面积沉积成膜,监测喷印流量值反馈调节确定目标气动压力值,监测喷印线宽值反馈调节确定喷嘴与基板之间的目标电压值。还提供一种膜厚控制装置,视觉识别相机识别喷印线宽值反馈调控电场控制模块,重量传感器或液位传感器识别喷印流量值反馈调控气动控制模块。本发明可以获取喷印流量值与气动气压值、以及电场力与喷印线宽值的关系,实现了对成膜厚度工艺参数的快捷在线调节控制。
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