超声波传感器及其制备方法、超声波成像器
摘要:
本申请提供了一种超声波传感器及其制备方法、超声波成像器,涉及传感器技术领域,旨在提高超声波传感器的性能。该超声波传感器包括衬底及设置于衬底上的多个超声波传感单元,每个超声波传感单元包括层叠的第一堆叠结构、第二堆叠结构和超声波换能器,第二堆叠结构和超声波换能器设置于第一堆叠结构的远离衬底的一侧。第一堆叠结构包括第一晶体管,第二堆叠结构包括第二晶体管,第一晶体管和第二晶体管与超声波换能器电连接。上述超声波传感器可应用于超声波成像器中,以实现图像的采集和生成。
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