电子储存环、同步辐射光源和光刻机
摘要:
本公开的实施例涉及电子储存环、同步辐射光源和光刻机。一种用于电子束团的电子储存环,包括:第一磁聚焦装置,包括二极铁或二极场;第一能量调制器,位于所述第一磁聚焦装置的下游;第二磁聚焦装置,位于所述第一能量调制器的下游,包括二极铁或二极场;辐射器,位于所述第二磁聚焦装置的下游;第三磁聚焦装置,位于所述辐射器的下游,包括二极铁或二极场;第二能量调制器,位于所述第三磁聚焦装置的下游;以及第四磁聚焦装置,位于所述第二能量调制器的下游,包括二极铁或二极场。
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