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公开(公告)号：CN110944446B
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN201911034817.X
申请日：2019-10-29
申请人： 清华大学
摘要： 本发明涉及一种电子束团储存环，该电子束团储存环包括若干偏转结构以及连接所述偏转结构的若干直线节，所述偏转结构和所述直线节共同形成适于电子束团持续环绕运行的环形结构，在电子束的运行方向上，每个偏转结构依次布置有前端匹配节、前端匹配单元、彼此连续布置的若干主单元、后端匹配单元以及后端匹配节。适当地布置该电子束团储存环中的各磁铁，使得匹配单元之外的所有二极铁内的色散函数积分值为零，并且，前端匹配单元的入口处以及后端匹配单元的出口处的色散函数及其导数值为零，并且，相邻的主单元的二极铁的交界处的色散函数的导数值为零。
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公开(公告)号：CN118870632A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202310483949.0
申请日：2023-04-28
申请人： 清华大学
摘要： 本公开的实施例涉及电子储存环、同步辐射光源和光刻机。一种用于电子束团的电子储存环，包括：第一磁聚焦装置，包括二极铁或二极场；第一能量调制器，位于所述第一磁聚焦装置的下游；第二磁聚焦装置，位于所述第一能量调制器的下游，包括二极铁或二极场；辐射器，位于所述第二磁聚焦装置的下游；第三磁聚焦装置，位于所述辐射器的下游，包括二极铁或二极场；第二能量调制器，位于所述第三磁聚焦装置的下游；以及第四磁聚焦装置，位于所述第二能量调制器的下游，包括二极铁或二极场。
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公开(公告)号：CN116209131A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202111443651.4
申请日：2021-11-30
申请人： 清华大学
摘要： 本公开的实施例涉及电子束团注入系统和极紫外(EUV)光源。该电子束团注入系统包括：光阴极电子枪、直线加速器和展束环。光阴极电子枪用于产生特定时间结构、特定电荷量的电子束团串，直线加速器用于对电子枪产生的电子束团串进行加速并保证其发射度在一定的范围内，展束环用于对多个电子束团进行展束，以形成长度至少为1ns的连续电子束团。该注入系统可以为一种加速器型的极紫外光源装置提供高流强的均匀电子源，从而实现kW量级的EUV平均输出功率。
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公开(公告)号：CN110944446A
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201911034817.X
申请日：2019-10-29
申请人： 清华大学
摘要： 本发明涉及一种电子束团储存环，该电子束团储存环包括若干偏转结构以及连接所述偏转结构的若干直线节，所述偏转结构和所述直线节共同形成适于电子束团持续环绕运行的环形结构，在电子束的运行方向上，每个偏转结构依次布置有前端匹配节、前端匹配单元、彼此连续布置的若干主单元、后端匹配单元以及后端匹配节。适当地布置该电子束团储存环中的各磁铁，使得匹配单元之外的所有二极铁内的色散函数积分值为零，并且，前端匹配单元的入口处以及后端匹配单元的出口处的色散函数及其导数值为零，并且，相邻的主单元的二极铁的交界处的色散函数的导数值为零。
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