一种无掩膜的飞秒激光制造频率选择性吸波柔性薄膜材料的方法
摘要:
本发明涉及一种无需掩膜,直接用飞秒激光直写制备具有红外波段吸波微波波段透波的频率选择性柔性功能复合薄膜,属于频率选择性吸波材料制备领域。制备步骤如下:(1)利用磁控溅射法在聚酰亚胺基底上依次镀上不同厚度的金膜、二氧化硅膜、金膜,形成Pi‑Au‑SiO2‑Au复合薄膜;(2)利用飞秒激光直写技术,对制备出的复合薄膜进行图案化刻蚀处理,刻蚀深度和形状由电脑程序进行控制;(3)将制备出的图案化复合薄膜进行吸波透波率性能测试。相比于现有的技术,本发明用一种较为简单的方式制备出红外吸波微波透波的柔性功能薄膜材料,对于红外隐身雷达领域具有重要的研究意义。
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