发明公开
- 专利标题： 一种电子级二氯二氢硅提纯装置及其使用方法
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申请号： CN202411051430.6申请日： 2024-08-01
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公开(公告)号： CN118903853A公开(公告)日： 2024-11-08
- 发明人: 郭英阁 , 徐庆松 , 刘坤 , 郑晨明 , 杨利 , 曹磊 , 黄军 , 陈超 , 韩奇 , 黄国强 , 王乃治
- 申请人： 衢州杭氧特种气体有限公司 , 浙江西亚特电子材料有限公司 , 天津大学
- 申请人地址： 浙江省衢州市高新技术产业园区华阳路28号2幢309室; ;
- 专利权人： 衢州杭氧特种气体有限公司,浙江西亚特电子材料有限公司,天津大学
- 当前专利权人： 衢州杭氧特种气体有限公司,浙江西亚特电子材料有限公司,天津大学
- 当前专利权人地址： 浙江省衢州市高新技术产业园区华阳路28号2幢309室; ;
- 代理机构： 杭州九洲专利事务所有限公司
- 代理商 翁玮
- 主分类号： B01D3/14
- IPC分类号： B01D3/14 ; C01B33/107 ; B01D3/26 ; B01D53/02 ; B01D53/00
摘要：
本发明为一种电子级二氯二氢硅提纯装置及其使用方法，所述装置由汽化器、冷却器、低温吸附器、预热器、脱轻塔、脱重塔组成，其中汽化器的一端连接粗品原料钢瓶，汽化器依次连接有冷却器、低温吸附器、预热器、脱轻塔、脱重塔，最后脱重塔连接至产品钢瓶和废液钢瓶，所述汽化器、冷却器、低温吸附器、预热器、脱轻塔、脱重塔均安装在撬块中。本发明具有结构合理、安全、稳定、节能、高效和灵活等优点。
