- 专利标题： 具有用于超高真空工艺的连结腔室的模块化多重腔室处理工具
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申请号： CN202280093458.9申请日： 2022-07-11
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公开(公告)号： CN118922924A公开(公告)日： 2024-11-08
- 发明人: 罗伯特·欧文·德科蒂尼斯 , 马雷克·W·拉德科
- 申请人： 应用材料公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006专利代理师徐金国吴启超
- 优先权： 17/692,969 2022.03.11 US
- 国际申请： PCT/US2022/036710 2022.07.11
- 国际公布： WO2023/172283 EN 2023.09.14
- 进入国家日期： 2024-09-10
- 主分类号： H01L21/67
- IPC分类号： H01L21/67 ; H01L21/677
摘要：
本文提供用于在多重腔室处理工具或系统中使用的连结腔室的实施方式。在某些实施方式中，一种用于在多重腔室处理工具中使用的连结腔室包括：连结腔室主体，具有在底板及顶板之间延伸的多个面(facet)，其中多个面的至少七个具有腔室开口，以形成多个腔室开口，其中多个腔室开口经尺寸设计以使基板通过所述腔室开口，且其中多个腔室开口的每一者配置成耦合至狭缝阀、装载锁定腔室、覆盖板、工艺腔室或第二连结腔室主体。
IPC分类:
