一种全多孔结构的超高灵敏度电容式柔性压力传感器
摘要:
本发明涉及一种全多孔结构超高灵敏度电容式柔性压力传感器,属于微纳加工—传感器技术领域。本发明的目的是为了解决目前电容式传感器灵敏度还不够高以适配微观场景的问题。本发明使用PAA溶液混合CuCl2粉末经过加热获得掺铜的PI膜,通过飞秒激光诱导出多孔的石墨烯,伴随着被还原的铜纳米粒子成为一种二维复合材料,作为电容式压力传感器的两个电极层。然后,再通过用离子液体浸泡pu泡沫作为“三明治”结构的介质层,如此一来,本发明便获得了全结构都为多孔粗糙表面的电容式压力传感器。传感器由于其每一个接触面都为多孔且粗糙的,增大了接触表面积,极大地提升了传感器的灵敏度。
0/0