提供即使在搬送如纸、布、树脂膜等薄的工件的情况下也能够在短时间内可靠地将吸附的工件卸下（分离）的工件吸附装置。工件吸附装置具备：静电吸附体（1），能够对吸附电极（4a、4b）施加电压而将工件（W）吸附到工件吸附面（1a）；以及工件分离体（5），介于吸附的工件与静电吸附体之间，在停止向吸附电极施加电压之后，辅助将工件从工件吸附面分离，其中，工件分离体具有用于使在工件吸附面生成的工件吸附力对工件侧作用的多个开口部（6），并且工件分离体以使该开口部在工件分离体的面内大致均匀地存在的方式利用格子部（7）划区，在吸附工件时从工件侧俯视时，静电吸附体的吸附电极和工件分离体的格子部不相对。