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公开(公告)号：CN111837231B
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN201980017976.0
申请日：2019-02-28
申请人： 应用材料公司
发明人： 爱德华四世·P·哈蒙德 , 白宗薰
摘要： 本公开涉及用于控制在基板边缘附近的等离子体壳层的方法和设备。改变跨在基板组件内的内部电极和外部电极的电压/电流分布促成等离子体跨基板的空间分布。所述方法包括：将第一射频功率提供到嵌入在基板支撑组件中的中心电极；将第二射频功率提供到嵌入在所述基板支撑组件中位于与所述中心电极不同的位置处的环形电极，其中所述环形电极周向地环绕所述中心电极；监测所述第一射频功率和所述第二射频功率的参数；以及基于所监测的参数来调整所述第一射频功率和所述第二射频功率中的一者或两者。
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公开(公告)号：CN110449623B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN201811650615.3
申请日：2018-12-31
申请人： 中铁宝桥集团有限公司
摘要： 本发明涉及一种多轴分别同时动作、通过齿轮箱的升降调整实现针对不同轨型道头孔的孔群钻孔，同时自动完成孔两侧机械化倒角加工和一种适用于多类型钢轨的多孔同时加工装置及加工方法，包括PLC控制器，俯视看后可升降式齿轮箱和前可升降式齿轮箱前后相对设置在机架上且后可升降式齿轮箱和前可升降式齿轮箱相对空间为钢轨被加工空间，后可升降式齿轮箱向下装有多个由各主轴分动控制的伺服电机上钻孔刀具，前可升降式齿轮箱向上装有多个由各主轴分动控制的伺服电机下倒角刀具，钢轨输送轨道与后可升降式齿轮箱和前可升降式齿轮箱所构成的钢轨被加工空间的进口相对，钢轨被加工空间一侧设有钢轨端头限位机构限位。
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公开(公告)号：CN113994463A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202080041770.4
申请日：2020-04-22
申请人： 应用材料公司
发明人： 胡良发 , A·A·哈贾 , S·M·博贝克 , P·K·库尔施拉希萨 , Y·铃木
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/67 , H01L21/687 , H02N13/00 , B23Q3/15 , C23C16/458
摘要： 本公开的实施例总体涉及用于在半导体装置处理期间减少基板背侧损伤的设备和方法。在一个实施方案中，一种在基板处理腔室中吸附基板的方法包括以下步骤：在将吸附电压施加到基板支撑件之前将基板暴露于等离子体预热处置。在一个实施方案中，提供了一种基板支撑件，并且所述基板支撑件包括主体，所述主体具有设置在其中的电极和热控制装置。多个基板支撑特征形成在主体的上表面上，基板支撑特征中的每一个基板支撑特征具有基板支撑表面和圆形边缘。
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公开(公告)号：CN113103043A
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN202110387331.5
申请日：2021-04-09
申请人： 黄屹
发明人： 黄屹
IPC分类号： B23Q3/15
摘要： 本发明的通过提供了一种加工中心换刀机械手液压控制机构，包括箱体，在该箱体内的上中下位置分别安装有回转式液压缸、花键轴和伸缩式液压缸，回转式液压缸内的转动轴的轴线和伸缩式液压缸内的伸缩轴的轴线均与花键轴的轴线相互平行，花键轴与回转式气缸之间通过主动齿轮与被动齿轮的啮合使回转式液压缸带动花键轴转动，伸缩式气缸与花键轴之间通过连杆连接，使伸缩式气缸的伸缩运动转变为花键轴的伸缩运动，从而通过回转式气缸带动花键轴的旋转运动和伸缩式气缸带动花键轴的伸缩运动实现换刀机械手的旋转和伸缩运动，使换刀机械手能够达到指定位置进行对刀具的抓取，最终实现对刀具的更换。
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公开(公告)号：CN112975509A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202110360773.0
申请日：2021-04-02
申请人： 上海通成企业发展有限公司
发明人： 徐峰
摘要： 本申请涉及一种提高效率的钣金件多夹具工装，涉及钣金件加工技术领域，旨在解决在对钣金件进行夹持加工的过程中，每次加工均需要操作人员进行上料，加工后需要停机以便操作人员取料，存在有当加工件数较多，需要机器频繁启停而导致加工效率低下的技术问题，其包括机架和设置在机架上的工作台，所述工作台位于中心位置设置有夹持驱动件，所述夹持驱动件的输出轴上设置有限位块，所述夹持驱动件的输出轴上套设有夹持板，所述夹持板的侧壁设置有多个用于供钣金件贴合的贴合立面，所述夹持驱动件用于驱动限位块抵接夹持板以对工作台表面上的多个钣金件进行夹持固定。本申请具有一次性夹持多个钣金件，减少启停次数以提高钣金件加工效率的效果。
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公开(公告)号：CN106687251B
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN201580048627.7
申请日：2015-07-09
申请人： 磁转换技术股份有限公司
发明人： D·H·莫顿
摘要： 一种用于相对于铁磁体支承具有工件接合组件的工具的磁性基座，包括：至少两个具有工作面的磁体单元，每个单元被适配成当工作面与铁磁体接触时被磁性地附接到所述铁磁体；以及支承结构，其被耦合到至少两个磁体单元并且包括被适配成将工具固定到支承结构的安装结构，支承结构具有延伸到该支承结构的大约中心位置的窗口或切口，使得工具的工件接合组件可从支承结构的第一侧延伸以接合位于支承结构的第二侧附近的铁磁体，与第一侧相对的第二侧，该至少两个磁体单元可被定位使得它们可配合到平坦表面或弯曲表面上。
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公开(公告)号：CN111771273A
公开(公告)日：2020-10-13
申请号：CN201980014976.5
申请日：2019-02-15
申请人： 朗姆研究公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/687 , H02N13/00 , B23Q3/15
摘要： 提供了一种用于衬底处理系统的静电卡盘。该静电卡盘包含：顶板，其被配置为静电夹持衬底并且由陶瓷形成；中间层，其被设置在所述顶板下方；以及基板，其被设置在所述中间层下方并且由陶瓷形成。所述中间层将所述顶板接合至所述基板上。
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公开(公告)号：CN106716619B
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN201580051119.4
申请日：2015-09-24
申请人： 住友大阪水泥股份有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/3065 , H02N13/00 , B23Q3/15
摘要： 本发明提供一种能够增大聚焦环的静电吸附力并能够均匀地对聚焦环进行冷却的静电吸盘装置。在本发明的静电吸盘装置(10)中，载置台(11)具有在载置面(24a)的周围沿着聚焦环(12)的周向设置并对聚焦环(12)进行静电吸附的保持部(15)，保持部(15)具有沿着周向设置并载置聚焦环(12)的一对堤部(16)和形成在它们之间的环状的槽部(17)，在一对堤部(16)中的至少位于聚焦环(12)的外周侧的堤部(16A)上，在与聚焦环(12)相对的面上形成包含多个微小突起的微小突起部，或者在槽部(17)的底面(17a)设置凸部(18)。凸部(18)不与聚焦环接触，一对堤部(16)或多个微小突起与聚焦环(12)接触，与凸部(18)协作而对聚焦环(12)进行静电吸附。
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公开(公告)号：CN111266643A
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN202010202336.1
申请日：2020-03-20
申请人： 杭州国辰机器人科技有限公司
摘要： 本申请公开了一种钢桶切割倾倒流水线的切割机床用切割刀头，包括固定在机床上的切割组件，切割组件包括电机、转盘和刀头本体，转盘安装在电机的一端，刀头本体安装在转盘的一侧，刀头本体包括底板、刀片和顶杆，底板固定在转盘的一端，底板上设有供顶杆活动的通孔，顶杆的外周固定有安装套筒，安装套筒的外周设有多个第六支架，第六支架上设有第二活动腔，底板的外周转动连接有多个第一连杆，第一连杆远离底板的一端转动连接有第二连杆，第二连杆贯穿第二活动腔设置且远离第一连杆的一端安装有刀架，刀片固定在刀架上。本发明有效提高了钢桶端盖切割的稳定性，进而有效提高了钢桶端盖切割的效率和质量。
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公开(公告)号：CN109531082B
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN201810554010.8
申请日：2018-06-01
申请人： 河源龙记金属制品有限公司
摘要： 本发明属于模具制造技术领域，旨在提供一种模架边锁框的加工方法，该加工方法通过使用双面磁台将模架上模和模架下模对位组装在一起，无需先做精孔加工，在第一加工中心中精光侧面后即可立即进入边锁框加工工序中，且只需将模架上模和模架下模拆分一次、转序一次到第二加工中心中精孔、精框即可。显然，相比现有工艺，本发明的加工方法通过采用双面磁台作为夹具，减少了模架上模和模架下模重复拆装及转序加工等不增加模具使用价值反而增加边锁框加工流程的工序次数，即简化了边锁框的加工工序，且调整了加工工序，极大地提高了加工效率，减少了产品加工成本，另因减少了累积误差，加工精度也得到提高，利于更早更好地向客户交付产品。
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