本发明涉及一种使用热激光蒸发(TLE)系统(100)的方法，该系统(100)包括：反应腔室(10)，可填充反应气氛(14)；一个或多个源(30)，布置在反应腔室(10)中，每个源(30)包括源材料(32)；以及激光源(50)，用于在源(30)的表面(34)处提供激光辐射(52)并由此蒸发源材料(32)。此外，本发明涉及一种热激光蒸发系统(100)，其包括：反应腔室(10)，可填充反应气氛(14)；一个或多个源(30)，布置在反应腔室(10)中，每个源包括源材料(32)；以及由反应腔室(10)提供的耦合装置(12)，用于将激光辐射(52)耦合到反应腔室(10)中，以撞击源(30)的表面(34)并由此蒸发源材料(32)。