一种基于Cu5Zn8扩散阻挡层制备的Cu/SnAgCu/Cu钎焊方法
摘要:
一种基于Cu5Zn8扩散阻挡层制备的Cu/SnAgCu/Cu钎焊方法,属于电子封装软钎焊技术领域。本发明以SnAgCu钎料和Cu基板组成的Cu/SnAgCu/Cu钎焊体系为对象,在Cu基板表面制备Cu5Zn8扩散阻挡层,再采用SnAgCu钎料对制备有Cu5Zn8扩散阻挡层的Cu基板进行钎焊连接,获得Cu基板/Cu5Zn8扩散阻挡层/SnAgCu钎料/Cu5Zn8扩散阻挡层/Cu基板结构的钎焊接头。本发明的优点在于:所制备的Cu5Zn8扩散阻挡层工艺简单、成本低廉,且Cu5Zn8涂层与Cu基板的结合性好,可大幅抑制钎焊接头界面金属间化合物(IMC)在时效阶段的过度生长,同时改善了Cu/SnAgCu/Cu钎焊体系的润湿性。
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