- 专利标题： 产品保持装置、产品保持方法和半导体装置制造装置
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申请号： CN202280094661.8申请日： 2022-06-10
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公开(公告)号： CN118985041A公开(公告)日： 2024-11-19
- 发明人: 菊地广 , 李瑾 , 宗像广志 , 永田宪雅 , 宫武正明
- 申请人： 雅马哈智能机器控股株式会社 , 学校法人东京理科大学
- 申请人地址： 日本东京武藏村山市伊奈平二丁目51番地之1
- 专利权人： 雅马哈智能机器控股株式会社,学校法人东京理科大学
- 当前专利权人： 雅马哈智能机器控股株式会社,学校法人东京理科大学
- 当前专利权人地址： 日本东京武藏村山市伊奈平二丁目51番地之1
- 代理机构： 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205专利代理师王蕊黄健
- 国际申请： PCT/JP2022/023482 2022.06.10
- 国际公布： WO2023/238393 JA 2023.12.14
- 进入国家日期： 2024-10-09
- 主分类号： H01L21/52
- IPC分类号： H01L21/52
摘要：
本发明的产品保持装置包括：载台(32)，载置产品；以及振动元件(38)，对被载置于所述载台(32)的所述产品(100)赋予超声波振动，使掉落下来的异物(110)在远离所述产品(100)的表面的位置飘起。而且，产品保持装置(30)还包括：移送机构(42)，将飘起的所述异物(110)移送至俯视时处于所述产品(100)的外侧的位置；以及回收机构(50)，回收所移送的所述异物(110)。
IPC分类:
