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发明公开
产品保持装置、产品保持方法和半导体装置制造装置

公开(公告)号：CN118985041A

公开(公告)日：2024-11-19

申请号：CN202280094661.8

申请日：2022-06-10

申请人： 雅马哈智能机器控股株式会社 , 学校法人东京理科大学

发明人： 菊地广 , 李瑾 , 宗像广志 , 永田宪雅 , 宫武正明

IPC分类号： H01L21/52

摘要： 本发明的产品保持装置包括：载台(32)，载置产品；以及振动元件(38)，对被载置于所述载台(32)的所述产品(100)赋予超声波振动，使掉落下来的异物(110)在远离所述产品(100)的表面的位置飘起。而且，产品保持装置(30)还包括：移送机构(42)，将飘起的所述异物(110)移送至俯视时处于所述产品(100)的外侧的位置；以及回收机构(50)，回收所移送的所述异物(110)。