本发明提供一种电致发光缺陷检测仪的多维度融合递进测试方法，包括：设置一空间分辨率测试板，板上包括镂空定位圆、倾斜角度检测条、矩形线对组和楔形线对组；采用该测试板对电致发光缺陷检测仪执行校准操作，得到对应的图像信息；将获得的图像进行灰度化‑二值化‑边缘检测‑霍夫检测，获得图像倾斜角度并对图像进行修正；获取图像信息中的一矩形线对图像，根据其角度对矩形线对图像进行旋转，使得矩形长边平行于竖直方向；对矩形线对分别通过神经网络模型、算法检测以及人眼识别三种方式进行加权计算出初始空间分辨率；再利用同方向的楔形线对结合算法检测获得最终的空间分辨率。本发明方法可提高电致发光缺陷检测仪空间分辨率测试精度。