一种碳化硅长晶炉多通道均匀供气装置及使用方法
Abstract:
本发明公开了一种碳化硅长晶炉多通道均匀供气装置,包括底座,底座顶部侧壁可拆卸式连接有炉体,底座内部开设有底槽,底槽内顶部侧壁放置有气罐,气罐靠近定端的一侧侧壁可拆卸式连接有承接板,承接板顶部且远离气罐的一侧侧壁可拆卸式连接有泵箱,泵箱顶部侧壁穿插连接有输送柱,输送柱的顶端可拆卸式连接有分流柱,分流柱远离输送柱的一侧侧壁均匀的贯通开设有气孔,且每个气孔内均可拆卸式连接有支流管,本发明具有以下优点:在分流柱上连接多个支流管,通过多个支流管形成多通道功能,这样就能将气体通过多个支流管进行分开独立输送,同时能将支流管环绕在坩埚的四周,避免了单一供气口导致的气体上升速率不同而产生紊流。
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