Invention Publication
- Patent Title: 一种碳化硅长晶炉多通道均匀供气装置及使用方法
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Application No.: CN202411682836.4Application Date: 2024-11-22
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Publication No.: CN119507030APublication Date: 2025-02-25
- Inventor: 周春霞 , 计垒峰 , 白斌 , 李振 , 徐养毅 , 韩科选
- Applicant: 苏州步科斯新材料科技有限公司
- Applicant Address: 江苏省苏州市吴江区江陵街道庞金路1801号庞金工业坊综合楼二层
- Assignee: 苏州步科斯新材料科技有限公司
- Current Assignee: 苏州步科斯新材料科技有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省苏州市吴江区江陵街道庞金路1801号庞金工业坊综合楼二层
- Agency: 无锡苏元专利代理事务所
- Agent 张剑锋
- Main IPC: C30B23/00
- IPC: C30B23/00 ; C30B29/36

Abstract:
本发明公开了一种碳化硅长晶炉多通道均匀供气装置,包括底座,底座顶部侧壁可拆卸式连接有炉体,底座内部开设有底槽,底槽内顶部侧壁放置有气罐,气罐靠近定端的一侧侧壁可拆卸式连接有承接板,承接板顶部且远离气罐的一侧侧壁可拆卸式连接有泵箱,泵箱顶部侧壁穿插连接有输送柱,输送柱的顶端可拆卸式连接有分流柱,分流柱远离输送柱的一侧侧壁均匀的贯通开设有气孔,且每个气孔内均可拆卸式连接有支流管,本发明具有以下优点:在分流柱上连接多个支流管,通过多个支流管形成多通道功能,这样就能将气体通过多个支流管进行分开独立输送,同时能将支流管环绕在坩埚的四周,避免了单一供气口导致的气体上升速率不同而产生紊流。
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