发明授权
CN1219712C 滑动缝隙式热处理装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 滑动缝隙式热处理装置
- 专利标题(英): Sliding slot heat treatment device
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申请号: CN03159894.3申请日: 2003-09-27
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公开(公告)号: CN1219712C公开(公告)日: 2005-09-21
- 发明人: 田中秀树
- 申请人: 爱斯佩克株式会社
- 申请人地址: 日本大阪
- 专利权人: 爱斯佩克株式会社
- 当前专利权人: 爱斯佩克株式会社
- 当前专利权人地址: 日本大阪
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 李香兰
- 优先权: 2003-008733 2003.01.16 JP
- 主分类号: C03B27/044
- IPC分类号: C03B27/044 ; F27D3/12
摘要:
提供一种滑动缝隙式热处理装置,该热处理装置(1),是以固定设在热处理室(2)内的支撑体支撑多层LCD玻璃基板等工件(W)、并从开口面(1a)逐个取放进行热处理的装置,其中作为多层在本例中为31层,其包括具有411~416的6个缝隙(41)的遮蔽板(4)、分成6扇设置而可开闭各自的缝隙的小门(5)、遮蔽板的升降机构(6)、及小门的开闭机构(7)。这种滑动缝隙式热处理装置,通过例如仅打开与取放工件W的缝隙416相对应的小门56并封闭其他的51~55,而能够一边防止热处理室(2)的热气泄漏一边取放工件。因为缝隙仅升降工件5层份,所以热处理装置的高度不会变高。
公开/授权文献
- CN1517312A 滑动缝隙式热处理装置 公开/授权日:2004-08-04