透光的电磁波滤波器及其制造工艺方法
Abstract:
一种包括透明衬底和透光电磁波屏蔽膜的透光的电磁波滤波器,该屏蔽膜包括由2n+1(n≥1)层构成的叠层结构,在该叠层结构中至少两层介质层和至少一层银层交替叠层,并且首先在透明衬底上设置介质层,其中介质层的至少一层为在550nm波长时具有1.6至2.7的折射率的抗静电金属氧化物层,最好以金属氧化物例如含锡的氧化铟为靶在具有低氧含量的气氛下进行溅射来形成该透光的电磁波滤波器。电磁波滤波器有大的可见光透射率和低的近红外线透射率,没有针眼或污染,并具有抗潮热等的长久耐用性。
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