静电型继电器和用该继电器的用于通信的装置
摘要:
在硅基片(21)的上面设置固定接点(23A,24A),从表面到背面贯通Si基片(21)那样地设置与固定接点(23A,24A)导通的信号线(23,24),在Si基片(21)的背面,设置与信号线(23,24)导通的突起(32,33)。在固定接点(23A,24A)的两侧设置固定电极(22),从表面到背面贯通Si基片(21)那样地设置与固定电极(22)导通的配线(30,31),在硅基片(21)的背面设置与配线(30,31)导通的突起(34,35)。将使信号线(23,24)贯通的硅基片(21)的贯通孔(26,27)和使配线(30,31)贯通的硅基片(21)的贯通孔(28,29)通过可动基片(40)或间隙(50)密闭密封起来。
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