发明授权
CN1252322C 对工件进行电解金属化的装置和方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 对工件进行电解金属化的装置和方法
- 专利标题(英): Device and method for electrolytic metallization of workpiece
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申请号: CN99126503.3申请日: 1999-12-17
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公开(公告)号: CN1252322C公开(公告)日: 2006-04-19
- 发明人: M·阿西埃 , S·L·蒂斯达勒
- 申请人: 国际商业机器公司
- 申请人地址: 美国纽约州
- 专利权人: 国际商业机器公司
- 当前专利权人: 国际商业机器公司
- 当前专利权人地址: 美国纽约州
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 邹光新; 王忠忠
- 优先权: 09/234382 1999.01.20 US
- 主分类号: C25D17/00
- IPC分类号: C25D17/00 ; C25D21/12
摘要:
用于完成电沉积、涂覆或蚀刻的传送系统;具体而言,利用流体头装置来选择性电解金属化和沉积的装置。提供与用于选择性电解金属化和电镀、涂覆或蚀刻所采用的传送系统中正处理的产品产生电接触并保持电接触的方法。与正处理的产品产生电接触并保持电接触的方法可以利用流体头装置。
公开/授权文献
- CN1261632A 利用流体头的选择性电解金属化/电镀的装置和方法 公开/授权日:2000-08-02