本发明提供一种通过使用蒸馏塔等的塔式处理方法，该方法能有效除去在处理流体中含有或产生的固体杂质如沉淀物和聚合物并因此能稳定地操作该塔式处理。处理流体中的固体杂质可以通过进行如下步骤而除去：从处理塔(10)的塔底处的排出出口(16)将处理流体排出到处理塔(10)外的步骤(a)，通过粗滤器(40)从在步骤(a)中排出的处理流体中除去固体杂质的步骤(b)以及将在步骤(b)中除去固体杂质的处理流体送回处理塔的送回入口(18)的步骤(c)，处理流体的物理和/或化学处理在处理塔(10)中进行。