发明公开
CN1266483A 导电材料层厚度的测定方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 导电材料层厚度的测定方法
- 专利标题(英): Method for determining the thickness of electrically conductive layer
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申请号: CN99800686.6申请日: 1999-03-24
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公开(公告)号: CN1266483A公开(公告)日: 2000-09-13
- 发明人: 克劳斯·多布勒 , 汉斯约里·哈赫特勒尔 , 赖因哈德·迪姆克 , 弗朗茨·奥夫·德海德 , 里夏德·布拉特尔特 , 约瑟夫·韦伯
- 申请人: 罗伯特·博施有限公司
- 申请人地址: 德国斯图加特
- 专利权人: 罗伯特·博施有限公司
- 当前专利权人: 罗伯特·博施有限公司
- 当前专利权人地址: 德国斯图加特
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 刘兴鹏
- 优先权: 19820546.5 1998.05.08 DE
- 国际申请: PCT/DE1999/00869 1999.03.24
- 国际公布: WO1999/58923 DE 1999.11.18
- 进入国家日期: 2000-01-04
- 主分类号: G01B7/06
- IPC分类号: G01B7/06 ; G01B121/02
摘要:
在导电材料层厚度的测定方法中,取决于原材料不同品质的测量误差被消除。在此,为每种原材料求出一个无量纲的特性值K。借助一个校正特性线,可以为每个特性值K对应一个修正系数F,利用该修正系数可以将层厚测量值DM转换成实际层厚值DW。因此,取决于原材料不同品质的不同磁性和电学性能的影响可以被尽可能地消除。
公开/授权文献
- CN1149385C 导电材料层厚度的测定方法 公开/授权日:2004-05-12