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公开(公告)号:CN1149385C
公开(公告)日:2004-05-12
申请号:CN99800686.6
申请日:1999-03-24
申请人: 罗伯特·博施有限公司
发明人: 克劳斯·多布勒 , 汉斯约里·哈赫特勒尔 , 赖因哈德·迪姆克 , 弗朗茨·奥夫·德海德 , 里夏德·布拉特尔特 , 约瑟夫·韦伯
摘要: 在导电材料层厚度的测定方法中,取决于原材料不同品质的测量误差被消除。在此,为每种原材料求出一个无量纲的特性值K。借助一个校正特性线,可以为每个特性值K对应一个修正系数F,利用该修正系数可以将层厚测量值DM转换成实际层厚值DW。因此,取决于原材料不同品质的不同磁性和电学性能的影响可以被尽可能地消除。
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公开(公告)号:CN1266483A
公开(公告)日:2000-09-13
申请号:CN99800686.6
申请日:1999-03-24
申请人: 罗伯特·博施有限公司
发明人: 克劳斯·多布勒 , 汉斯约里·哈赫特勒尔 , 赖因哈德·迪姆克 , 弗朗茨·奥夫·德海德 , 里夏德·布拉特尔特 , 约瑟夫·韦伯
IPC分类号: G01B7/06 , G01B121/02
摘要: 在导电材料层厚度的测定方法中,取决于原材料不同品质的测量误差被消除。在此,为每种原材料求出一个无量纲的特性值K。借助一个校正特性线,可以为每个特性值K对应一个修正系数F,利用该修正系数可以将层厚测量值DM转换成实际层厚值DW。因此,取决于原材料不同品质的不同磁性和电学性能的影响可以被尽可能地消除。
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