发明授权
- 专利标题： 一种双向剪切干涉仪
- 专利标题（英）： Two-way shear interferometer
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申请号： CN200310105872.6申请日： 2003-10-31
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公开(公告)号： CN1285877C公开(公告)日： 2006-11-22
- 发明人: 陈立武 , 杨建峰 , 赵葆常 , 洪新华 , 郑潮鋆 , 常凌颖
- 申请人： 中国科学院西安光学精密机械研究所
- 申请人地址： 陕西省西安市友谊西路234号
- 专利权人： 中国科学院西安光学精密机械研究所
- 当前专利权人： 陕西光电子集成电路先导技术研究院有限责任公司
- 当前专利权人地址： 陕西省西安市友谊西路234号
- 代理机构： 西安智邦专利商标代理有限公司
- 代理商 商宇科
- 主分类号： G01B9/02
- IPC分类号： G01B9/02
摘要：
本发明涉及一种双向剪切干涉仪。其包括棱镜，该棱镜由第一分束棱镜(2)、第二分束棱镜(4)和第一、第二、第三、第四平面反射镜(1、3、5、6)构成，第一分束棱镜(2)与第二分束棱镜(4)呈分离对称设置在两侧，第一平面反射镜(1)设置在第一分束棱镜(2)上方，第二平面反射镜(3)设置在第二分束棱镜(4)上方，第三平面反射镜(5)设置在第一分束棱镜(2)下方，第四平面反射镜(6)设置在第二分束棱镜(4)下方。本发明不会在光路中产生杂光且光束能量利用率高。
公开/授权文献
- CN1611914A 一种双向剪切干涉仪 公开/授权日：2005-05-04