发明授权
- 专利标题: 压力传感器、压力控制装置及压力式流量控制装置的温度漂移修正装置
- 专利标题(英): Pressure sensor, pressure controller and temp drift corrector of pressure type flow controller
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申请号: CN02808689.9申请日: 2002-11-22
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公开(公告)号: CN1285896C公开(公告)日: 2006-11-22
- 发明人: 大见忠弘 , 宇野富雄 , 中村修 , 池田信一 , 土肥亮介 , 西野功二 , 松本笃咨 , 杉山一彦
- 申请人: 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社 , 大见忠弘
- 申请人地址: 日本大阪府
- 专利权人: 株式会社富士金,东京毅力科创株式会社,大见忠弘
- 当前专利权人: 株式会社富士金,东京毅力科创株式会社,大见忠弘
- 当前专利权人地址: 日本大阪府
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 张天安; 杨松龄
- 优先权: 399910/2001 2001.12.28 JP
- 国际申请: PCT/JP2002/012251 2002.11.22
- 国际公布: WO2003/058187 JA 2003.07.17
- 进入国家日期: 2003-10-22
- 主分类号: G01L19/04
- IPC分类号: G01L19/04 ; G01L9/00 ; G01D3/028
摘要:
一种压力传感器、压力控制装置及流量控制装置,可以自动地修正压力传感器的温度漂移,且即使温度变动,仍可正确地检测出压力。本发明的压力式流量控制装置的温度漂移修正装置是在压力式流量控制装置上使用,该压力式流量控制装置在节流装置(4)与控制阀(22)之间设有检测上游侧压力(P1)用的上游侧压力传感器(10),在根据上游侧压力(P1)运算通过节流装置(4)的流量的同时,还通过控制阀(22)的开闭来控制通过节流装置(4)的流量,该压力式流量控制装置的温度漂移修正装置由测定流体温度的温度传感器(14)、存储流体温度(T)与上游侧压力传感器(10)的输出漂移的关系的存储机构(64)、以及温度漂移修正机构构成,其中,温度漂移修正机构是在流体温度(T)发生变化的情况下,根据存储机构(64)的数据运算上游侧压力传感器(10)的输出漂移量,根据该运算的输出漂移量消除上游侧压力传感器(10)的输出漂移,从而修正温度漂移。利用该结构,可自动地修正压力传感器的温度漂移,进行正确的流量控制。
公开/授权文献
- CN1503904A 压力传感器、压力控制装置及压力式流量控制装置的温度漂移修正装置 公开/授权日:2004-06-09