一种辐射敏感树脂组合物，该组合物包含：(A)具有不饱和基团的碱溶性树脂，(B)具有至少一个烯键不饱和双键的化合物和(C)辐射诱导的自由基聚合反应引发剂，其中：具有不饱和基团的碱溶性树脂(A)可通过下面反应获得：100重量份共聚物与0.1-20重量份(d)具有环氧基团的可自由基聚合化合物反应，所述共聚物包含下列单元：1-40重量%来自(a)具有羧基的可自由基聚合化合物的结构单元，和1-50重量%具有酚羟基的结构单元，所述结构单元来自(b-1)具有酚羟基的可自由基聚合化合物或(b-2)具有聚合反应后可转化为酚羟基的官能团的可自由基聚合化物，来源另一可自由基聚合化合物(c)的所述共聚物的其他结构单元。