公开(公告)号：CN100589032C

公开(公告)日：2010-02-10

申请号：CN200480008907.7

申请日：2004-03-25

申请人： 捷时雅株式会社

发明人： 岩永伸一郎 ,  木村徹 ,  西川耕二

IPC分类号： G03F7/033 ,  C09D133/04

CPC分类号： G03F7/031 ,  C08L33/04 ,  G03F7/029 ,  G03F7/033 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/121 ,  Y10S430/124 ,  C08L2666/02

摘要： 本发明的呈未固化状态的光敏树脂膜包含(A)一种特殊的碱溶性共聚物，(B)具有至少一个烯键式不饱和双键的化合物，以及(C)一种辐射敏感的自由基聚合引发剂，通过使用该引发剂，呈未固化状态的、干膜厚度为70μm的涂膜在365nm具有不低于10%的辐射透射率，在405nm具有不低于60%的辐射透射率。以100重量份组分(A)计，该光敏树脂膜中的辐射敏感的自由基聚合引发剂(C)的含量为20-40重量份，并且该光敏树脂膜的干膜厚度不低于50μm。根据该光敏树脂膜可容易地在芯片基底上高精度地形成不低于50μm的高凸起，而常规技术难于形成这样的高凸起。此外，还能抑制元件的连接失效并能提高元件的可靠性。

公开(公告)号：CN1768304A

公开(公告)日：2006-05-03

申请号：CN200480008907.7

申请日：2004-03-25

申请人： 捷时雅株式会社

发明人： 岩永伸一郎 ,  木村徹 ,  西川耕二

IPC分类号： G03F7/033 ,  C09D133/04

CPC分类号： G03F7/031 ,  C08L33/04 ,  G03F7/029 ,  G03F7/033 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/121 ,  Y10S430/124 ,  C08L2666/02

摘要： 本发明的呈未固化状态的光敏树脂膜包含(A)一种特殊的碱溶性共聚物，(B)具有至少一个烯键式不饱和双键的化合物，以及(C)一种辐射敏感的自由基聚合引发剂，通过使用该引发剂，呈未固化状态的、干膜厚度为70μm的涂膜在365nm具有不低于10％的辐射透射率，在405nm具有不低于60％的辐射透射率。以100重量份组分(A)计，该光敏树脂膜中的辐射敏感的自由基聚合引发剂(C)的含量为20－40重量份，并且该光敏树脂膜的干膜厚度不低于50μm。根据该光敏树脂膜可容易地在芯片基底上高精度地形成不低于50μm的高凸起，而常规技术难于形成这样的高凸起。此外，还能抑制元件的连接失效并能提高元件的可靠性。

公开(公告)号：CN1934497A

公开(公告)日：2007-03-21

申请号：CN200580009059.6

申请日：2005-03-24

申请人： 捷时雅株式会社

发明人： 西川耕二 ,  木村徹 ,  岩永伸一郎

IPC分类号： G03F7/033 ,  G03F7/004 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/40 ,  G03F7/033 ,  Y10S430/107 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/117 ,  Y10S430/119 ,  Y10S430/12 ,  Y10S430/121 ,  Y10S430/126

摘要： 本发明的课题是提供可以精度良好地形成凸缘或布线等厚膜的镀制成形物的制造方法，适用于该制造方法的感度、析像度等良好的负型感放射线性树脂组合物，以及使用该组合物的转印膜。制造了含有(A)具有下述通式(1)及/或(2)所示结构单元的聚合物、(B)具有至少1个乙烯性不饱和双键的化合物以及(C)感放射线性自由基聚合引发剂的负型感放射线性树脂组合物，以及使用该组合物的负型感放射线性树脂组合物。

公开(公告)号：CN1509424A

公开(公告)日：2004-06-30

申请号：CN02810029.8

申请日：2002-12-13

申请人： 捷时雅株式会社

发明人： 岩永伸一郎 ,  岩本聪 ,  木村徹 ,  西村洋子 ,  西川耕二

IPC分类号： G03F7/027 ,  H01L21/288 ,  H05K3/00

CPC分类号： G03F7/033 ,  G03F7/405

摘要： 一种辐射敏感树脂组合物，该组合物包含：(A)具有不饱和基团的碱溶性树脂，(B)具有至少一个烯键不饱和双键的化合物和(C)辐射诱导的自由基聚合反应引发剂，其中：具有不饱和基团的碱溶性树脂(A)可通过下面反应获得：100重量份共聚物与0.1－20重量份(d)具有环氧基团的可自由基聚合化合物反应，所述共聚物包含下列单元：1－40重量％来自(a)具有羧基的可自由基聚合化合物的结构单元，和1－50重量％具有酚羟基的结构单元，所述结构单元来自(b－1)具有酚羟基的可自由基聚合化合物或(b－2)具有聚合反应后可转化为酚羟基的官能团的可自由基聚合化物，来源另一可自由基聚合化合物(c)的所述共聚物的其他结构单元。

公开(公告)号：CN1291278C

公开(公告)日：2006-12-20

申请号：CN02810029.8

申请日：2002-12-13

申请人： 捷时雅株式会社

发明人： 岩永伸一郎 ,  岩本聪 ,  木村徹 ,  西村洋子 ,  西川耕二

IPC分类号： G03F7/027 ,  H01L21/288 ,  H05K3/00

CPC分类号： G03F7/033 ,  G03F7/405

摘要： 一种辐射敏感树脂组合物，该组合物包含：(A)具有不饱和基团的碱溶性树脂，(B)具有至少一个烯键不饱和双键的化合物和(C)辐射诱导的自由基聚合反应引发剂，其中：具有不饱和基团的碱溶性树脂(A)可通过下面反应获得：100重量份共聚物与0.1-20重量份(d)具有环氧基团的可自由基聚合化合物反应，所述共聚物包含下列单元：1-40重量%来自(a)具有羧基的可自由基聚合化合物的结构单元，和1-50重量%具有酚羟基的结构单元，所述结构单元来自(b-1)具有酚羟基的可自由基聚合化合物或(b-2)具有聚合反应后可转化为酚羟基的官能团的可自由基聚合化物，来源另一可自由基聚合化合物(c)的所述共聚物的其他结构单元。