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具有透明导电薄膜的触摸屏基材
Abstract:
一种透明触摸屏基材,包括透明基材以及附着其上的透明导电金属氧化物薄膜,该薄膜包含作为三种金属元素的锌、铟和锡并在酸中可溶。薄膜优选地包含以所有金属计的40%到65%原子含量的锌,及包含以原子含量计的锡量的0.25到1.3倍的铟。薄膜厚度优选地从100到160nm。本发明的触摸屏基材具有三种特性:较高的光透射率;在形成透明电极过程中通过酸蚀刻容易加工;以及透明导电薄膜具有从500到5,000Ω的中度表面电阻。
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