发明授权
CN1322309C 表面粗糙度非接触测量系统
失效 - 权利终止
- 专利标题： 表面粗糙度非接触测量系统
- 专利标题（英）： Surface roughness non-contact measuring system
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申请号： CN200510028602.9申请日： 2005-08-09
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公开(公告)号： CN1322309C公开(公告)日： 2007-06-20
- 发明人: 朱青 , 徐文东 , 高秀敏 , 张锋 , 杨金涛 , 戴珂
- 申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 申请人地址： 上海市800-211邮政信箱
- 专利权人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 当前专利权人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 当前专利权人地址： 上海市800-211邮政信箱
- 代理机构： 上海新天专利代理有限公司
- 代理商 张泽纯
- 主分类号： G01B11/30
- IPC分类号： G01B11/30
摘要：
一种新型表面粗糙度测量系统。该系统由聚焦误差探测和控制驱动两部分组成。采用动态离焦误差检测方法，引入聚焦伺服系统，由临界角法探测到聚焦误差信号，用来控制聚焦物镜的移动，使聚焦光点始终聚焦在被测表面上，聚焦物镜的移动量反映了被测表面的高度变化。动态离焦误差检测方法大幅度提高了测量范围。为了避免光源不均匀，及被测表面的倾角对测量的影响，采用双光路，利用差动技术消去信号的畸变分量。
公开/授权文献
- CN1731080A 表面粗糙度非接触测量系统 公开/授权日：2006-02-08