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公开(公告)号：CN100559512C
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：CN200610028626.9
申请日：2006-07-05
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种可控的制备光纤探针的装置和方法，该装置由光纤探针位置控制装置、可编程控制电路板和电机控制程序构成：所说的电机控制程序是指烧写在可编程微处理器芯片内存中的根据制作光纤探针的工艺过程编制的控制驱动旋转电机和直流电机的转速、转向及相应速度的持续时间的自动运行的代码。本发明具有重复性能好、可调范围广和操作简单的特点，可以获得重复率高、尖端超锐、尖端锥体形状可控、尖端均匀变细、表面光滑的光纤探针。
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公开(公告)号：CN100538839C
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200510028195.1
申请日：2005-07-27
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种模块化光-磁混合存储介质动态测试系统，该系统由激光调制模块、偏磁模块、主轴电机模块、聚焦伺服模块、磁头读出模块、径向压电陶瓷驱动的纳米平台、观察显微模块和系统控制模块构成。本发明可克服磁光存储系统中读出分辨率和灵敏度低的问题；具有回转精度高、不须进行道跟踪、记录密度高、可用于动态测试和静态测试、维护方便等特点。
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公开(公告)号：CN1299330C
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：CN200410093319.X
申请日：2004-12-21
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： H01L21/033
摘要： 一种涂在光刻胶上的光刻用硫化物半导体掩膜，所述的硫化物半导体掩膜的材料为碲化锗、锗锑碲、银铟锑碲或碲化锑。本发明硫化物半导体掩膜材料由于材料的三阶非线性效应，能大大减小光斑或者刻蚀线宽，刻蚀点或刻蚀线宽是光斑衍射极限的1/3-1/6，比采用金属铟(In)(60%)的效果更明显，同时需要的激光功率也大大降低。
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公开(公告)号：CN1564048A
公开(公告)日：2005-01-12
申请号：CN200410017871.0
申请日：2004-04-22
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G02B26/02
摘要： 一种光学焦点光强分布调节系统，其特征在于该聚光系统成轴对称分布，其对称轴与光轴O1O2重合。光轴O1O2上依次置有光源、第一锥形透镜、第二锥形透镜和物镜，所述的第二锥形透镜与第一锥形透镜顶点相对，所述的第一锥形透镜的平面为光束的入射面，用于固定保护第一锥形透镜的前端外壳和固定保护第二锥形透镜的后端外壳活动连接。本发明具有结构简单、紧凑、光能利用率高、光强分布便于调节的特点。
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公开(公告)号：CN1322309C
公开(公告)日：2007-06-20
申请号：CN200510028602.9
申请日：2005-08-09
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01B11/30
摘要： 一种新型表面粗糙度测量系统。该系统由聚焦误差探测和控制驱动两部分组成。采用动态离焦误差检测方法，引入聚焦伺服系统，由临界角法探测到聚焦误差信号，用来控制聚焦物镜的移动，使聚焦光点始终聚焦在被测表面上，聚焦物镜的移动量反映了被测表面的高度变化。动态离焦误差检测方法大幅度提高了测量范围。为了避免光源不均匀，及被测表面的倾角对测量的影响，采用双光路，利用差动技术消去信号的畸变分量。
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公开(公告)号：CN1877745A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200610028626.9
申请日：2006-07-05
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种可控的制备光纤探针的装置和方法，该装置由光纤探针位置控制装置、可编程控制电路板和电机控制程序构成：所说的电机控制程序是指烧写在可编程微处理器芯片内存中的根据制作光纤探针的工艺过程编制的控制驱动旋转电机和直流电机的转速、转向及相应速度的持续时间的自动运行的代码。本发明具有重复性能好、可调范围广和操作简单的特点，可以获得重复率高、尖端超锐、尖端锥体形状可控、尖端均匀变细、表面光滑的光纤探针。
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公开(公告)号：CN1286090C
公开(公告)日：2006-11-22
申请号：CN200410016971.1
申请日：2004-03-16
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种光存储特性静态测试系统，包括测试和监视观察两大部分，其特征在于：该系统采用三维可编程纳米平台控制系统中的物镜进行三维移动，实现读写光点的逼近和扫描，扩大了可测样品的范围，实现了测量自动化。在信息写入和读出过程中，光点和样品可以存在慢速相对运动，从而该系统还可以进行光存储特性的准动态测试。照明光由光纤导入监视观察系统，光纤的传光效率高、柔韧性好、长度可视具体情况加工，使监视观察系统具有很好的灵活性。
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公开(公告)号：CN1587983A
公开(公告)日：2005-03-02
申请号：CN200410054325.4
申请日：2004-09-07
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种针尖扫描的光点跟踪装置，其特征是该装置由五个模块构成：第一模块包括y向扫描器及固定在其上的第一反射体，第二模块包括x向扫描器及固定在其上的第二反射体，第三模块即z向扫描器；第四模块包括聚焦透镜、微悬臂针尖和固定该微悬臂针尖的连接体，第五模块包括激光器、成像透镜和四象限光电探测器，该四象限光电接收器放在成像透镜焦平面，激光器和四象限光电探测器各有一个调节机构；本发明装置结构简单，各模块调整和更换方便，激光聚焦光点在扫描过程中能稳定地跟踪微悬臂针尖的运动，保证微悬臂针尖没有发生实际偏转的情况下，反射光也不会产生相对光电探测器移动。
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公开(公告)号：CN1587981A
公开(公告)日：2005-03-02
申请号：CN200410053442.9
申请日：2004-08-04
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种用于原子力显微镜针尖扫描的光点跟踪装置，其构成是：所述的激光杠杆：包括激光器，在激光器出射的平行光束的前进方向上有反射镜，该反射镜配有调节装置，在反射镜的反射光线G的前进方向上依次是聚焦透镜和微悬臂针尖，该聚焦透镜的中心和微悬臂针尖的背面顶端同处于光线G的光轴上，且微悬臂针尖的顶端位于聚焦透镜的焦点，在微悬臂针尖的反射光线H的前进方向上依次是成像透镜和两维可调的四象限光电探测器；一xy向扫描器和固定在该xy向扫描器上的z向扫描器形成所述的组合扫描器件；元器件模块化。本发明具有结构简单，各单元部件易于调整和更换，激光聚焦光点跟踪可靠的优点。
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公开(公告)号：CN1564045A
公开(公告)日：2005-01-12
申请号：CN200410017069.1
申请日：2004-03-19
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G02B21/10
摘要： 一种暗场显微镜聚光系统，包括空间光调制和照明物镜两部分，其特征在于该聚光系统成轴对称分布，其对称轴与光轴O1O2重合，所述的空间光调制部分由圆锥形反射器、梯形圆筒反射器和调制壳组成，所述的照明物镜部分包括对称轴与光轴O1O2重合的高数值孔径照明物镜，该照明物镜设有物镜外壳，该物镜外壳与调制壳相互活动连接，位置可调。本发明具有结构紧凑、照明光利用效率高、光强度分布对称的特点。
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