蚀刻液组合物及使用该蚀刻液组合物制造反射板的方法
摘要:
本发明提供了价格低廉的蚀刻液组合物,其使用单一溶液可以同时蚀刻包含SiO2膜的金属反射层合膜,抑制各膜的侧面腐蚀量并且对于作为光散射层的树脂层没有损伤。即该蚀刻液组合物是用单一溶液同时蚀刻由含有金属反射膜和SiO2膜的2层以上的膜构成的金属反射层合膜的蚀刻液组合物,其由磷酸、硝酸、醋酸、氢氟酸和水配合而成。
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