公开(公告)号：CN1506495A

公开(公告)日：2004-06-23

申请号：CN200310120156.5

申请日：2003-12-09

申请人： 关东化学株式会社 ,  奥博特瑞克斯株式会社

发明人： 清水寿和 ,  景山宪二 ,  宫本孝吉 ,  藤信秀哉

IPC分类号： C23F1/16 ,  G02F1/1335

摘要： 本发明提供了价格低廉的蚀刻液组合物，其使用单一溶液可以同时蚀刻包含SiO2膜的金属反射层合膜，抑制各膜的侧面腐蚀量并且对于作为光散射层的树脂层没有损伤。即该蚀刻液组合物是用单一溶液同时蚀刻由含有金属反射膜和SiO2膜的2层以上的膜构成的金属反射层合膜的蚀刻液组合物，其由磷酸、硝酸、醋酸、氢氟酸和水配合而成。

公开(公告)号：CN1325697C

公开(公告)日：2007-07-11

申请号：CN200310120156.5

申请日：2003-12-09

申请人： 关东化学株式会社 ,  奥博特瑞克斯株式会社

发明人： 清水寿和 ,  景山宪二 ,  宫本孝吉 ,  藤信秀哉

IPC分类号： C23F1/16 ,  G02F1/1335

摘要： 本发明提供了价格低廉的蚀刻液组合物，其使用单一溶液可以同时蚀刻包含SiO2膜的金属反射层合膜，抑制各膜的侧面腐蚀量并且对于作为光散射层的树脂层没有损伤。即该蚀刻液组合物是用单一溶液同时蚀刻由含有金属反射膜和SiO2膜的2层以上的膜构成的金属反射层合膜的蚀刻液组合物，其由磷酸、硝酸、醋酸、氢氟酸和水配合而成。