发明公开
CN1330288A 带有光产酸剂的含光自由基产生剂的光致抗蚀剂组合物
失效 - 权利终止
- 专利标题： 带有光产酸剂的含光自由基产生剂的光致抗蚀剂组合物
- 专利标题（英）： Photoresist composite with optical acid-generating agent containing optical free radical generating agent
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申请号： CN01118895.2申请日： 2001-06-29
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公开(公告)号： CN1330288A公开(公告)日： 2002-01-09
- 发明人: 郑载昌 , 李根守 , 郑旼镐 , 白基镐
- 申请人： 海力士半导体有限公司
- 申请人地址： 韩国京畿道
- 专利权人： 海力士半导体有限公司
- 当前专利权人： 海力士半导体有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道
- 代理机构： 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 王维玉; 丁业平
- 优先权： 37228/2000 2000.06.30 KR
- 主分类号： G03F7/004
- IPC分类号： G03F7/004
摘要：
本发明涉及一种含有光自由基发生剂的光致抗蚀剂组合物,更具体涉及一种包括(a)光致抗蚀剂树脂,(b)光产酸剂,(c)有机溶剂和(d)光自由基发生剂的光致抗蚀剂组合物。该光致抗蚀剂组合物能降低或阻止由于光致抗蚀剂上部组合物产生的酸浓度相对于光致抗蚀剂下部组合物产生的酸浓度高所造成的倾斜图像的生成。
公开/授权文献
- CN1241065C 带有光产酸剂的含光自由基产生剂的光致抗蚀剂组合物 公开/授权日：2006-02-08
IPC分类:
