发明公开
- 专利标题： 导电性扫描型显微镜用探针及使用该探针的加工方法
- 专利标题（英）： Conductive probe for scanning microscope and machining method using the same
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申请号： CN01804104.3申请日： 2001-09-28
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公开(公告)号： CN1397010A公开(公告)日： 2003-02-12
- 发明人: 中山喜万 , 秋田成司 , 原田昭雄 , 大川隆 , 高野雄一 , 安武正敏 , 白川部喜治
- 申请人： 大研化学工业株式会社 , 精工电子有限公司 , 中山喜万
- 申请人地址： 日本大阪
- 专利权人： 大研化学工业株式会社,精工电子有限公司,中山喜万
- 当前专利权人： 精工电子纳米科技有限公司,中山喜万
- 当前专利权人地址： 日本大阪
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 王以平
- 优先权： 403559/2000 2000.11.26 JP
- 国际申请： PCT/JP2001/08615 2001.09.28
- 国际公布： WO2002/42741 JA 2002.05.30
- 进入国家日期： 2002-07-25
- 主分类号： G01N13/12
- IPC分类号： G01N13/12 ; G12B21/04
摘要：
本发明的导电性扫描型显微镜用探针(20)通过固定于悬臂(4)的导电性纳米管探针(12)的前端(14a)获取试样表面的物性信息；其特征在于：由形成于上述悬臂(4)表面的导电性被覆膜(17)、将基端部(16)接触配置于悬臂(4)的所希望部位的表面的导电性纳米管(12)、从该导电性纳米管(12)的基端部(16)覆盖上述导电性被覆膜(17)的一部分对导电性纳米管(12)进行固定的导电性分解堆积物(18)构成，由导电性分解堆积物(18)使导电性纳米管(12)和导电性被覆膜(17)成为导通状态。这样，可实现能够在成为探针的导电性纳米管与试样间加电压或通电的导电性扫描型显微镜用探针。
公开/授权文献
- CN1250957C 导电性扫描型显微镜用探针及使用该探针的加工方法 公开/授权日：2006-04-12