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公开(公告)号:CN1397010A
公开(公告)日:2003-02-12
申请号:CN01804104.3
申请日:2001-09-28
申请人: 大研化学工业株式会社 , 精工电子有限公司 , 中山喜万
摘要: 本发明的导电性扫描型显微镜用探针(20)通过固定于悬臂(4)的导电性纳米管探针(12)的前端(14a)获取试样表面的物性信息;其特征在于:由形成于上述悬臂(4)表面的导电性被覆膜(17)、将基端部(16)接触配置于悬臂(4)的所希望部位的表面的导电性纳米管(12)、从该导电性纳米管(12)的基端部(16)覆盖上述导电性被覆膜(17)的一部分对导电性纳米管(12)进行固定的导电性分解堆积物(18)构成,由导电性分解堆积物(18)使导电性纳米管(12)和导电性被覆膜(17)成为导通状态。这样,可实现能够在成为探针的导电性纳米管与试样间加电压或通电的导电性扫描型显微镜用探针。
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公开(公告)号:CN1397012A
公开(公告)日:2003-02-12
申请号:CN01804105.1
申请日:2001-09-28
申请人: 大研化学工业株式会社 , 精工电子有限公司 , 中山喜万
摘要: 本发明的根据聚焦离子束形成的扫描型显微镜用探针通过固定于悬臂(4)的纳米管(12)的前端(14a)获得试样表面的物性信息;其特征在于:在聚焦离子束装置(2)内由聚焦离子束I分解有机气体G,由生成的分解成分的分解堆积物(18)固定纳米管(12)和悬臂(4)。另外,使用聚焦离子束I除去附着于前端部(14)的不要堆积物(24),切断纳米管的不要部分,控制探针的长度,在前端部(14)中注入离子,进行该纳米管的探针的改性。为此,可实现能够固定和切断纳米探针而且能够改善纳米管探针的材质的扫描型显微镜用探针。
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公开(公告)号:CN1397011A
公开(公告)日:2003-02-12
申请号:CN01804103.5
申请日:2001-09-28
申请人: 大研化学工业株式会社 , 精工电子有限公司 , 中山喜万
摘要: 本发明的垂直式扫描型显微镜用探针(20)通过固定于悬臂(2)的纳米管探针的前端来获得试样表面(24)的物性信息;其特征在于:在悬臂(2)设置固定纳米管(12)的基端部(14)的安装区域,当相对平均试样表面(26)将悬臂(2)配置成测定状态时,使上述安装区域的高度方向相对上述试样平均表面(26)成为垂直状态地设置,将纳米管(12)的基端部(14)固定于该安装区域的高度方向。这样,可实现将成为探针的纳米管前端相对试样面以大体垂直状接触从而可高灵敏度地检测试样的表面信息的垂直式扫描型显微镜用探针。
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公开(公告)号:CN1250958C
公开(公告)日:2006-04-12
申请号:CN01804105.1
申请日:2001-09-28
申请人: 大研化学工业株式会社 , 精工电子纳米科技有限公司 , 中山喜万
摘要: 本发明的根据聚焦离子束形成的扫描型显微镜用探针通过固定于悬臂(4)的纳米管(12)的前端(14a)获得试样表面的物性信息;其特征在于:在聚焦离子束装置(2)内由聚焦离子束I分解有机气体G,由生成的分解成分的分解堆积物(18)固定纳米管(12)和悬臂(4)。另外,使用聚焦离子束I除去附着于前端部(14)的不要堆积物(24),切断纳米管的不要部分,控制探针的长度,在前端部(14)中注入离子,进行该纳米管的探针的改性。为此,可实现能够固定和切断纳米探针而且能够改善纳米管探针的材质的扫描型显微镜用探针。
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公开(公告)号:CN1250957C
公开(公告)日:2006-04-12
申请号:CN01804104.3
申请日:2001-09-28
申请人: 大研化学工业株式会社 , 精工电子纳米科技有限公司 , 中山喜万
摘要: 本发明的导电性扫描型显微镜用探针(20)通过固定于悬臂(4)的导电性纳米管探针(12)的前端(14a)获取试样表面的物性信息;其特征在于:由形成于上述悬臂(4)表面的导电性被覆膜(17)、将基端部(16)接触配置于悬臂(4)的所希望部位的表面的导电性纳米管(12)、从该导电性纳米管(12)的基端部(16)覆盖上述导电性被覆膜(17)的一部分对导电性纳米管(12)进行固定的导电性分解堆积物(18)构成,由导电性分解堆积物(18)使导电性纳米管(12)和导电性被覆膜(17)成为导通状态。这样,可实现能够在成为探针的导电性纳米管与试样间加电压或通电的导电性扫描型显微镜用探针。
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