碘激光用高频放电型激励氧发生器及高频放电型激励氧发生方法
摘要:
高频放电型激励氧发生器,具有:空心阴极(2),其开口有等离子槽(3);阳极(4),设置在该空心阴极(2)的排出侧并与空心阴极(2)绝缘;和高频电源(5),向该阳极(4)和空心阴极(2)之间提供高频电能。激励氧发生器向空心阴极(2)的等离子槽(3)供给O2气或O2气中混合有其他气体的混合气体,生成单态激励氧。另外,激励氧发生器在空心阴极(2)的等离子槽(3)的供给侧,设置有对着等离子槽(3)的中心供给NO气体的喷射器(10)。供给等离子槽(3)的中心部分的NO气体,在没有氮和氧离解的状态下激励O2气,产生激励氧。
0/0