公开(公告)号：CN1423854A

公开(公告)日：2003-06-11

申请号：CN01808071.5

申请日：2001-04-20

申请人： 藤崎电机株式会社

发明人： 藤井洋郎 ,  约瑟夫·施米德博格 ,  冈村实 ,  吉谷英司

IPC分类号： H01S3/095 ,  H01S3/22

CPC分类号： H01S3/2215 ,  H01S3/036 ,  H01S3/038 ,  H01S3/097 ,  H01S3/22

摘要： 高频放电型激励氧发生器,具有:空心阴极(2),其开口有等离子槽(3)；阳极(4),设置在该空心阴极(2)的排出侧并与空心阴极(2)绝缘；和高频电源(5),向该阳极(4)和空心阴极(2)之间提供高频电能。激励氧发生器向空心阴极(2)的等离子槽(3)供给O2气或O2气中混合有其他气体的混合气体,生成单态激励氧。另外,激励氧发生器在空心阴极(2)的等离子槽(3)的供给侧,设置有对着等离子槽(3)的中心供给NO气体的喷射器(10)。供给等离子槽(3)的中心部分的NO气体,在没有氮和氧离解的状态下激励O2气,产生激励氧。