本发明提供使薄陶瓷生片的膜厚变薄，即使提高载体薄膜上涂敷陶瓷浆料的速度，也能获得可靠性高的叠层陶瓷电子零件和叠层陶瓷电子零件的制造方法。本发明采用从载体薄膜滚筒12中拉出载体薄膜14，用涂敷装置16涂敷陶瓷浆料18，用干燥装置20进行干燥，用卷绕装置26卷绕而形成陶瓷生片22的方法。回卷载体薄膜，用印刷装置24印刷内部电极型板，干燥后用卷绕装置26卷绕。拉出卷绕的载体薄膜12，剥离陶瓷生片22而进行叠层，切断后烧制形成外部电极。在这个制造工序中，作为载体薄膜14，利用陶瓷浆料涂敷面的Rmax小于0.2μm、其反面的Rmax大于0.5μm而小于1.0μm的薄膜。