发明公开
- 专利标题： 检测平板显示器的显微镜
- 专利标题（英）： Microscope for detecting panel display
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申请号： CN03122128.9申请日： 2003-04-17
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公开(公告)号： CN1451988A公开(公告)日： 2003-10-29
- 发明人: 赵载成 , 朴根鲁
- 申请人： 株式会社显像制造服务
- 申请人地址： 韩国京畿道
- 专利权人： 株式会社显像制造服务
- 当前专利权人： 威海电美世光机电有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道
- 代理机构： 北京集佳专利商标事务所
- 代理商 王学强
- 优先权： 2002－21552 2002.04.19 KR
- 主分类号： G02B21/00
- IPC分类号： G02B21/00 ; G01N21/88
摘要：
本发明提供一种检测一种平板显示器的显微镜。所述的显微镜包括至少一个执行旋转和平移运动的显微镜单元。相应地，可能减少显微镜检测基板的整个表面而不得不移动的距离和检测基板所必需的时间。因为一个透明盖在显微镜单元和基板之间延伸，在显微镜单元的旋转运动中出现的微粒就会聚集在透明盖上。因此，可能防止基板的污染。
公开/授权文献
- CN1279384C 检测平板显示器的显微镜 公开/授权日：2006-10-11
