采用复合激励方式的多自由度压电陶瓷棒状微马达
摘要:
本发明公开了属于精密机械中的压电微电机技术领域的基于弯曲振动模式的一种采用复合激励方式的多自由度压电陶瓷棒状微马达。是根据压电陶瓷棒的一阶伸缩振动模态谐振频率和前两阶弯曲振动模态的谐振频率可出现相同点,陶瓷棒在谐振频率相同点的两种振动模态的共同作用下,陶瓷棒顶端会形成一个椭圆运动;利用一阶或二阶复合振动模态激励方式制成两个自由度的平面驱动器结构的压电陶瓷棒状微马达,利用一阶或二阶复合振动模态激励方式加上弯曲振动模态激励方式制成三个自由度的球驱动器结构的压电陶瓷棒状微马达。本发明的马达具有尺寸微小,结构简单,压电微马达的直径在0.5到10mm之间。并且具有大力矩,快速响应等特点,应用前景比较广阔。
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