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公开(公告)号：CN106827813B
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201510887729.X
申请日：2015-12-07
申请人： 清华大学 , 北京派和科技股份有限公司 , 佛山市陶瓷研究所股份有限公司
IPC分类号： B41J2/045
摘要： 本发明公开了一种指状悬臂式压电喷头及其加工方法以及包括该喷头的喷涂设备，属于压电陶瓷领域，所述指状悬臂式压电喷头包括至少一个墨水槽，所述墨水槽上覆盖有柔性隔膜，形成墨水腔，所述墨水腔的一端设置有进墨口，另一端设置有喷嘴，所述柔性隔膜上设置有指状悬臂式压电陶瓷，所述指状悬臂式压电陶瓷包括连接基板和从所述连接基板侧面伸出的多个采用d31面内横向弯曲变形模式的压电陶瓷悬臂梁，所述压电陶瓷悬臂梁位于所述墨水腔的上方并与所述墨水腔一一对应，所述压电陶瓷悬臂梁连接有驱动电路。本发明结构简单，加工方便；输出力高，适用范围广；不易磨损，寿命长。
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公开(公告)号：CN101795088B
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201010131680.2
申请日：2010-03-23
申请人： 清华大学 , 北京航空航天大学 , 精拓丽音科技(北京)有限公司
IPC分类号： H02N2/02
摘要： 本发明属于微型驱动器范围的一种多足直线压电驱动器与工作台。压电驱动器的基板上伸出的方片形驱动足形成梳状结构，粘接在驱动足侧面的方形压电陶瓷片，压电陶瓷片沿厚度方向极化，所有驱动足的端面在一个平面上；将电信号引入压电陶瓷片的电极面，会同时激发驱动足一阶伸缩振动和一阶或二阶弯曲振动，两种振动的耦合作用使得驱动足底面质点做椭圆运动，驱动器多个足底的椭圆振动累积叠加为宏观直线运动。驱动器座安装在工作台基座上，安装在基座上的光栅尺和光栅头为控制系统提供工作台的精确位置，实现对工作台闭环控制。本发明由于采用多足驱动的形式，驱动力将成倍的增大；压电陶瓷片与空气接触面积大，有利于散热；装配方便且成本较低。
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公开(公告)号：CN102395092A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201110296497.2
申请日：2011-09-27
申请人： 清华大学
IPC分类号： H04R17/10
摘要： 本发明公开了属于压电技术领域的一种基于压电悬臂梁的压电扬声器。其结构为在中层纤维片两侧粘结极化方向相反的上层压电陶瓷片和下层压电陶瓷片组成压电悬臂梁，将所述压电悬臂梁的一端与外框固定形成固定端，并将电极从固定端引出；所述压电悬臂梁的活动端通过起阻尼作用的连接块与振动片相连，所述振动片通过振膜粘结在所述外框上，该振动片既作为扬声器周围空气推动的主要介质，同时也作为扬声器的配重，可有效降低扬声器的第一阶谐振频率，改善低音重放效果。本发明有着谐振频率低、振动模态简单、振动幅度大等特点，较传统贴片式压电扬声器有着低音性能好、声压输出平稳、声输出高等优势。
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公开(公告)号：CN100492864C
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200510093342.3
申请日：2003-07-25
申请人： 清华大学
IPC分类号： H02N2/00
摘要： 本发明公开了属于精密机械中的压电微电机技术领域的一种基于复合激励方式的多自由度压电陶瓷棒状微马达。是根据压电陶瓷棒的一阶伸缩振动模态谐振频率和前两阶弯曲振动模态的谐振频率可出现相同点的两种振动模态的共同作用下，利用一阶或二阶复合振动模态激励方式制成两个自由度的平面驱动器结构和三个自由度的球驱动器结构的压电陶瓷棒状微马达。其陶瓷棒放入套筒中，套筒壁上嵌有橡胶环，钢珠和弹簧放入套筒上孔中，并用螺栓旋入套筒此孔；定子套入陶瓷棒的另一端，并粘接牢固而制成马达。本马达具有尺寸微小，结构简单，压电微马达的直径在0.5到10mm之间。并且具有大力矩，快速响应等特点，应用前景比较广阔。
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公开(公告)号：CN100336295C
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：CN03100607.8
申请日：2003-01-17
申请人： 清华大学
IPC分类号： H02N2/12
摘要： 基于半波复合棒压电振子的振动转换型超声马达属于压电超声马达技术领域。其特征在于，它含有：半波长的定子，转子，预紧机构和马达的机械力矩输出机构。定子包含从上而下依次紧叠的，在非波节处的柱面上刻有一组平行斜槽的上定子，压电片，电极片和下定子。转子包含和上定子上端面摩擦接触的摩擦片及和摩擦片上平面粘合的金属圆盘。所说预紧机构包含压在金属圆盘上端凹面上的橡胶垫圈和弹簧片，以及卡在下轴承上的卡簧。马达的机械力矩输出机构包含贯穿定子和转子中心线的转轴和上下轴承。马达旋转方向由斜槽的取向决定，马达由于采用半波振子的定子而更为紧凑。
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公开(公告)号：CN1731236A
公开(公告)日：2006-02-08
申请号：CN200510012196.7
申请日：2005-07-15
摘要： 本发明属于精密机械中光驱动技术领域，其特征在于，它含有：由一组压电陶瓷片与基片构成的复合悬臂梁，压电陶瓷片有二个电极区；铰链；反射镜片及镜框；支撑框架。镜框经铰链与基片相连，基片依靠支撑框架固定。当电源正极与两组电极区并联，电源负极与基片相连，使复合悬臂梁产生弯曲变形；当电源正极与负极分别与两组电极区相连，使复合悬臂梁产生扭转变形。复合悬臂梁也可以由四个呈十字对称分布的悬臂梁构成，而反射镜片处于十字对称中心；也可由两个相垂直的悬臂梁构成，反射镜片位于垂直交点处；镜框同时也可与支撑框架相连。本发明具有结构简单、驱动电压低、响应快、振颤小、无电磁干扰、无间隙、无摩擦损耗的优点。
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公开(公告)号：CN1151522C
公开(公告)日：2004-05-26
申请号：CN01145368.0
申请日：2001-12-31
申请人： 清华大学
摘要： 可消除压电马达转角步进累积误差的接触式位置开关属于步进控制开关领域，其特征在于，它含有：一对压电马达起停控制引入线，两组相互有间隙且对应地按转角定位控制需要分布在上述引入线上又与它电连接的凸片，与马达转子相连且在转角定位控制位置上经电触头把一对相对应凸片电短接的触片。所述引入线是一对分布在转子外周绝缘环上的导电环，两组凸片是在垂直方向分布的，触片是位于两组凸片间的间隙相应的圆周上的。另外，触片也可位于转子外侧绝缘层上。导电环也可位于定子表面绝缘层上，而凸片则是在定子表面绝缘层上径向与导电环相连的，此时触片也可做在与转子轴固定连接的一个绝缘盘上。当马达转到精确定位处时，触片连通一组凸片把引入线短路，使马达停转而不会产生累积误差。
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公开(公告)号：CN1487659A
公开(公告)日：2004-04-07
申请号：CN03146162.X
申请日：2003-07-25
申请人： 清华大学
摘要： 本发明公开了属于精密机械中的压电微电机技术领域的基于弯曲振动模式的一种采用复合激励方式的多自由度压电陶瓷棒状微马达。是根据压电陶瓷棒的一阶伸缩振动模态谐振频率和前两阶弯曲振动模态的谐振频率可出现相同点，陶瓷棒在谐振频率相同点的两种振动模态的共同作用下，陶瓷棒顶端会形成一个椭圆运动；利用一阶或二阶复合振动模态激励方式制成两个自由度的平面驱动器结构的压电陶瓷棒状微马达，利用一阶或二阶复合振动模态激励方式加上弯曲振动模态激励方式制成三个自由度的球驱动器结构的压电陶瓷棒状微马达。本发明的马达具有尺寸微小，结构简单，压电微马达的直径在0.5到10mm之间。并且具有大力矩，快速响应等特点，应用前景比较广阔。
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公开(公告)号：CN1142624C
公开(公告)日：2004-03-17
申请号：CN01144588.2
申请日：2001-12-21
申请人： 清华大学
摘要： 单节径非轴对称振动模式的压电膜微电机，属于压电微电机技术领域。其特征在于，它含有：由薄金属圆片和对称地粘接于该片上且可顺或逆时针地沿圆周方向在其电极分割区上连续加电的压电陶瓷膜片共同构成的定子，对称地固定在上述定子中心处的中空管，分布在中空管两端的转子，穿过中空管与上转子间隙配合的中心轴，作用在上转子上由螺母、弹簧构成的预紧力调整机构以及支在薄金属圆片外周上的字子支撑。当下转子与中心轴连体时构成轴输出型电机；下转子作为中心轴的支撑构成转子输出型。转子与中空管呈倾斜角接触。转子运转的平稳性随电极分割区数的增大而提高。它兼具棒状和压电膜微电机的优点，极化工艺简单且有通用性，易微型化，同时也不影响输出力矩。
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公开(公告)号：CN106158371B
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201610631871.2
申请日：2016-08-04
申请人： 清华大学
摘要： 本发明涉及一种多层陶瓷电容器，包括一陶瓷体及设置在该陶瓷体相对两端的两个外部电极，所述陶瓷体包括至少一第一电极层、至少一第二电极层及介电材料，所述至少一第一电极层及所述至少一第二电极层层叠间隔设置，所述介电材料填充在所述至少一第一电极层及所述至少一第二电极层周围使相邻的所述第一电极层及所述第二电极层间隔设置，所述至少一第一电极层与所述外部电极电连接设置，所述至少一第二电极层不与所述外部电极电连接设置，所述第一电极层包括至少两个叉指电极，所述第二电极层包括至少一个叉指电极，在所述至少一第一电极层所述至少一第二电极层的层叠方向上，相邻的所述第一电极层的叉指电极与所述第二电极层的叉指电极的投影至少部分重叠。
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