发明公开

纳米颗粒显微镜
摘要:
一种纳米颗粒显微镜,主要包含主机、主控制器和探头。探头上的探针测得被测颗粒的信息经过探头内的预处理器预处理后,经过主控制器送至主机内。经过主机内的形貌图处理模块、形貌图分析模块、颗粒统计模块以及观察显示模块后,既可以在显示器上观察到被测颗粒的形貌图像,又能获得较精确的被测颗粒的统计数据。所以,本发明的显微镜具有观察颗粒形貌图像和统计颗粒数据的两大功能。分辨率能够达到纳米级,测量精度小于0.5纳米,在不同范围的扫描均达到16位的精度。
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