发明公开
CN1601380A 干燥薄膜光阻剂
无效 - 撤回
- 专利标题： 干燥薄膜光阻剂
- 专利标题（英）： Dry film photoresist
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申请号： CN200410029534.3申请日： 2004-03-18
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公开(公告)号： CN1601380A公开(公告)日： 2005-03-30
- 发明人: 罗伯·K·巴尔 , 艾加多·安苏尔 , 丹尼尔·E·伦迪
- 申请人： 美商长兴科技公司
- 申请人地址： 美国弗吉尼亚
- 专利权人： 美商长兴科技公司
- 当前专利权人： 美商长兴科技公司
- 当前专利权人地址： 美国弗吉尼亚
- 代理机构： 北京纪凯知识产权代理有限公司
- 代理商 程伟; 戈泊
- 优先权： 10/391,051 2003.03.18 US
- 主分类号： G03F7/00
- IPC分类号： G03F7/00
摘要：
一种干燥薄膜光阻剂包括官能性聚合物。该官能性聚合物具有α，β－不饱和基团和当暴露于光性辐射时产生游离基的基团。