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公开(公告)号:CN1601380A
公开(公告)日:2005-03-30
申请号:CN200410029534.3
申请日:2004-03-18
申请人: 美商长兴科技公司
IPC分类号: G03F7/00
CPC分类号: C07D233/64 , C08F2/50 , C08G18/10 , C08G18/6725 , C08G18/68 , C08L25/14 , C08L63/00 , C08L75/16 , G03F7/031 , G03F7/033 , G03F7/038 , G03F7/0388 , Y10S430/117 , Y10S522/904 , Y10S522/905 , C08L2666/02
摘要: 一种干燥薄膜光阻剂包括官能性聚合物。该官能性聚合物具有α,β-不饱和基团和当暴露于光性辐射时产生游离基的基团。